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極限壓(ya)強：5×10-7 Pa
最(zui)大前(qian)級(ji)壓力：100Pa
電(dian)機(ji)轉(zhuan)速(su)：24000r/min
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抽(chou)氣速率(lv)：4000L/s
極限壓(ya)強：5×10-7 Pa
最大(da)前級(ji)壓力：100Pa
電機(ji)轉速(su)：24000r/min
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