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半(ban)導體用(yong)真空泵(beng)

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RSP390榦式螺桿(gan)真(zhen)空(kong)泵好凱(kai)悳(de)Hokaido螺桿泵

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額(e)定(ding)流量(liang)：390m³/h
極(ji)限(xian)壓(ya)力(li)：4Pa
功(gong)率(lv)：11Kw
轉速：2900rpm
譟(zao)音(yin)：≤75dB(A)

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額(e)定(ding)流(liu)量：550m³/h
極限壓力(li)：4Pa
功(gong)率(lv)：15Kw
轉(zhuan)速(su)：2900rpm
譟音(yin)：≤80dB(A)

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額定(ding)流(liu)量：650m³/h
極(ji)限(xian)壓(ya)力(li)：4Pa
功率：22Kw
轉速(su)：2900rpm
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額(e)定流量(liang)：800m³/h
極(ji)限(xian)壓力(li)：5Pa
功(gong)率：30Kw
轉(zhuan)速：2900rpm
譟音：≤85dB(A)

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RSP1100榦(gan)式螺(luo)桿(gan)真空(kong)泵好凱悳(de)Hokaido螺(luo)桿泵

額定(ding)流(liu)量：1100m³/h
極(ji)限壓(ya)力(li)：5Pa
功(gong)率：37Kw
轉(zhuan)速：2900rpm
譟音：≤85dB(A)

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抽(chou)氣速(su)率：600L/s
極限(xian)壓強(qiang)：5×10-6 Pa
最(zui)大前級壓(ya)力：4000Pa
電(dian)機轉速：24000r/min
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抽氣(qi)速(su)率(lv)：1200L/s
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最(zui)大前(qian)級(ji)壓力(li)：4000Pa
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啟動時間：＜1...

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極限(xian)壓(ya)強：5×10-6 Pa
最(zui)大前級(ji)壓力：4000Pa
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抽氣速率(lv)：1800L/s
極(ji)限(xian)壓(ya)強(qiang)：5×10-6 Pa
最大(da)前級(ji)壓(ya)力：4000Pa
電(dian)機轉(zhuan)速(su)：24000r/min
啟動時(shi)間：＜1...

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Turbo-H160/800-FF渦輪(lun)分(fen)子(zi)泵好(hao)凱(kai)悳(de)Hokaido抽(chou)真空泵(beng)

Turbo-H160/800-FF渦輪分(fen)子(zi)泵(beng) 好凱悳Hokaido抽(chou)真空(kong)泵(beng)

抽氣(qi)速率：800L/s
極限壓(ya)強(qiang)：5×10-7 Pa
最大前(qian)級壓(ya)力：100Pa
電(dian)機轉速：24000r/min
啟動(dong)時(shi)間：＜10min

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爲真空而(er)生(sheng)

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